[发明专利]有机物沉积装置及利用该装置的有机物沉积方法

摘要

本发明公开了有机物沉积装置及利用该装置的有机物沉积方法。本实施例的有机物沉积装置包括主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；第一基板装载部，用于向上述第一径向装载并安置上述第一基板；第二基板装载部，用于向上述第二径向装载并安置上述第二基板；扫描仪，包括线形的有机物沉积源，用于喷射有机物粒子；源移动单元，与上述有机物沉积源相结合，并使上述有机物沉积源沿着上述第一基板或上述第二基板的表面进行直线移动，以便向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射上述有机物粒子；旋转单元，使上述源移动单元进行旋转，以使上述线形的有机物沉积源与上述第一基板或上述第二基板的一边保持平行；以及扫描仪移动单元，使上述扫描仪进行往返移动，以使上述扫描仪位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域。

主权项

一种有机物沉积装置，其特征在于，包括：主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；第一基板装载部，用于向上述第一径向装载并安置上述第一基板；第二基板装载部，用于向上述第二径向装载并安置上述第二基板；扫描仪，包括：线形的有机物沉积源，用于喷射有机物粒子；源移动单元，与上述有机物沉积源相结合，并使上述有机物沉积源沿着上述第一基板或上述第二基板的表面进行直线移动，以便向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射上述有机物粒子；旋转单元，使上述源移动单元进行旋转，以使上述线形的有机物沉积源与上述第一基板或上述第二基板的一边保持平行；以及扫描仪移动单元，使上述扫描仪进行往返移动，以使上述扫描仪位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域。