[发明专利]干涉距离测量装置和对应方法有效
| 申请号： | 201380039375.2 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104487799B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·延森 | 申请（专利权）人： | 赫克斯冈技术中心 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚;刘久亮 |
| 地址： | 瑞士赫*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量表面的干涉距离测量装置，使用：至少一个可调谐激光器，该可调谐激光器具有用于生成利用波长斜坡调制的测量辐射；光束路径，该光束路径具有光学发送系统，用于向表面发射测量辐射；以及光学采集系统，用于采集有该表面反向散射的测量辐射，其包括测量臂和基准臂；以及辐射检测器和估计单元，用于确定从距离测量装置的基准点至表面的距离。分别通过针对测量辐射的并行发射的至少一个分束器(13、29)来定义n≥2个通道，在预定的发射时间点将波长斜坡的一个不同的子区域分配至所述通道。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 距离测量装置 辐射 可调谐激光器 光束路径 波长 斜坡 光学采集系统 辐射检测器 表面发射 并行发射 反向散射 估计单元 光学发送 测量臂 分束器 基准臂 基准点 子区域 干涉 调制 采集 发射 分配 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量表面(4)的干涉距离测量装置，该干涉距离测量装置至少包括‑可调谐激光器，该可调谐激光器具有用于生成利用波长斜坡调制的测量辐射的相干长度，其中，所述激光器的所述相干长度限定测量范围，‑光束路径，该光束路径具有○发送光学单元，该发送光学单元用于将所述测量辐射发射到所述表面(4)上，○接收光学单元，该接收光学单元用于接收从所述表面反向散射的所述测量辐射，○干涉仪，该干涉仪由测量臂和基准臂构成，‑辐射检测器和估计单元，所述辐射检测器和所述估计单元用于确定从所述距离测量装置的基准点至所述表面(4)的距离，其特征在于，借助于至少一个分束器(13、20、20")，限定用于平行发射测量辐射的n≥2个通道，所述n≥2个通道在每种情况下被分配有针对指定的发射时刻的所述波长斜坡的不同的子范围，其中，所有通道在经过所述波长斜坡的过程期间同时地或者连续地发射。
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