[发明专利]季铵氢氧化物有效
| 申请号： | 201380016725.3 | 申请日： | 2013-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN104334522B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 查尔斯·B·利特尔 | 申请（专利权）人： | 塞克姆公司 |
| 主分类号： | C07C217/28 | 分类号： | C07C217/28;C07D295/08;C11D1/62 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴小瑛 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
从表面去除残余物的方法，包括：向表面施加包含以下成分的组合物：(a)如本文中定义的具有通式(I)的季铵氢氧化物： |
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| 搜索关键词： | 氢氧化物 | ||
【主权项】：
从表面去除残余物的方法，包括：向表面施加包含以下成分的组合物，所述表面是制造过程中半导体器件的部件，所述残余物是下列中的一种或多种：来自聚合物材料的后烘烤残余物、离子注入的聚合物材料、部分分解的聚合物材料、衍生自光致抗蚀剂的残余物和旋涂式介电材料：(a)具有通式(I)的季铵氢氧化物：![]()
其中在通式(I)中：R1可以是C1‑C18直链或支链烷基、C2‑C18直链或支链烷醇、C3‑C18直链或支链多元醇、苄基或取代苄基，其中当存在时，取代苄基被C1‑C4烷基、C1‑C4烷氧基或卤素中的一种或多种取代，或R1可以具有下列通式(i)或(ii)：![]()
其中在通式(i)和(ii)中，R6独立地为C1‑C4支链或非支链烷基，R2和R3可以独立地为C1‑C18直链或支链烷基、C2‑C18直链或支链烷醇、C3‑C18直链或支链多元醇、苄基或取代苄基，其中当存在时，取代苄基被C1‑C4烷基、C1‑C4烷氧基或卤素中的一种或多种取代，或R1如上文所定义，并且R2和R3可以一起构成含有通式(I)的季铵N原子和4至7个碳原子的杂环，或R1如上文所定义，并且R2和R3可以一起构成含有通式(I)的季铵N原子，和第二氮原子或氧原子以及3至6个碳原子的杂环，其中第二氮原子可以被一个或多个独立地选自C1‑C18直链或支链烷基、C2‑C18直链或支链烷醇、C3‑C18直链或支链多元醇、苄基或取代苄基的基团取代，其中当存在时，取代苄基被C1‑C4烷基、C1‑C4烷氧基或卤素中的一种或多种取代，或R1、R2和R3一起可以构成在第一和第二桥连位置之间含有两个至四个碳原子的双环结构，其中通式(I)的季N原子位于第一桥连位置，并且碳或叔氮或季氮位于第二桥连位置，其中当第二桥连位置是碳或季氮时，该碳或季氮被R5取代，其中R5是H或C1‑C4支链或非支链烷基，和R4是H或C1‑C18直链或支链烷基、苯基或取代苯基、或苄基或取代苄基，其中当存在时，取代苯基或取代苄基被C1‑C4烷基、C1‑C4烷氧基或卤素中的一种或多种取代；和(b)基本不含水的偶极非质子溶剂；和从表面除去至少大部分的残余物。
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- 专利分类
C07 有机化学
C07C 无环或碳环化合物
C07C217-00 连接在同一个碳架上的含氨基和醚化的羟基的化合物
C07C217-02 .醚化的羟基和氨基连接在同一个碳架的非环碳原子上
C07C217-52 .醚化的羟基或氨基连接在同一个碳架的除六元芳环以外的其他环的碳原子上
C07C217-54 .醚化的羟基连接在至少1个六元芳环的碳原子上和氨基连接在非环碳原子上或连接在除同一个碳架的六元芳环以外的其他环的碳原子上
C07C217-76 .带有连接在六元芳环碳原子上的氨基和连接在非环碳原子或同一碳架的除六元芳环以外的其他环碳原子上的醚化羟基
C07C217-78 .带有连接在同一碳架的六元芳环的碳原子上的氨基和醚化羟基
C07C 无环或碳环化合物
C07C217-00 连接在同一个碳架上的含氨基和醚化的羟基的化合物
C07C217-02 .醚化的羟基和氨基连接在同一个碳架的非环碳原子上
C07C217-52 .醚化的羟基或氨基连接在同一个碳架的除六元芳环以外的其他环的碳原子上
C07C217-54 .醚化的羟基连接在至少1个六元芳环的碳原子上和氨基连接在非环碳原子上或连接在除同一个碳架的六元芳环以外的其他环的碳原子上
C07C217-76 .带有连接在六元芳环碳原子上的氨基和连接在非环碳原子或同一碳架的除六元芳环以外的其他环碳原子上的醚化羟基
C07C217-78 .带有连接在同一碳架的六元芳环的碳原子上的氨基和醚化羟基
