[实用新型]一种真空式激光刻蚀吸附平台有效
| 申请号： | 201320893368.6 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN203636212U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 施心星;龚楷峰;刘俊辉;邵西河 | 申请（专利权）人： | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空式激光刻蚀吸附平台，包括真空泵和工作台，所述真空泵设置在工作台的下方，其中，所述真空泵为复合分子泵，所述工作台包括金属底板，所述金属底板上开设有沟槽，所述金属底板上设有聚甲醛板，所述聚甲醛板上设置有多个吸附孔，所述吸附孔和沟槽相互贯通并和真空泵的吸风口相连。本实用新型提供的真空式激光刻蚀吸附平台，通过在聚甲醛板和金属底板上分别设置吸附孔和沟槽，以便真空泵抽取工作台内部气体后形成一个负压空间，从而加大吸附力，大幅降低了因工作台吸力不足造成加工材料浪费过多、加工偏位以及产品不良等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 激光 刻蚀 吸附 平台 | ||
【主权项】：
一种真空式激光刻蚀吸附平台，包括真空泵(1)和工作台(2)，所述真空泵(1)设置在工作台(2)的下方，其特征在于，所述真空泵(1)为复合分子泵，所述工作台(2)包括金属底板(4)，所述金属底板(4)上开设有沟槽，所述金属底板(4)上设有聚甲醛板(3)，所述聚甲醛板(3)上设置有多个吸附孔(5)，所述吸附孔(5)和沟槽相互贯通并和真空泵(1)的吸风口相连。
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