[实用新型]测试结构有效
| 申请号： | 201320806969.9 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN203644758U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王贵明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提出了一种测试结构，包括多个测试单元以及多个金属连线，测试单元内设有多个第一栅极和第一通孔连线，第一栅极和第一通孔连线由介质层隔离开，金属连线包括第一金属连线和第二金属连线，第一金属连线与第一栅极连接，第二金属连线与第一通孔连线连接。添加测试单元，所述测试单元设有多个第一栅极和第一通孔连线，两者通过介质层隔离开，再使用第一金属连线和第二金属连线分别连接第一栅极和第一通孔，通过监测两者之间的电流，从而实现对第一栅极和第一通孔连线之间是否存在短路现象进行监测。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种测试结构，其特征在于，所述测试结构包括多个测试单元以及多个金属连线，所述测试单元内设有多个第一栅极和第一通孔连线，所述第一栅极和第一通孔连线由介质层隔离开，所述金属连线包括第一金属连线和第二金属连线，所述第一金属连线与所述第一栅极连接，所述第二金属连线与所述第一通孔连线连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320806969.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可方便安装检验温度计的烘箱
- 下一篇：新型防盗用水表
