[实用新型]一种用于激光精密加工的工作台系统

摘要

本实用新型涉及激光加工技术领域，公开了一种用于激光精密加工的工作台系统，包括设有腔体的安装台和设于安装台上用于覆盖腔体的具有均匀空隙的工作台板，所述安装台内的腔体由至少两个独立的密封腔体组成，该工作台系统还包括与每个密封腔体连通的独立的气路，以及与气路连通的抽气装置。本实用新型通过设置多个密封腔体来对工作台实现区域化的分割，并且通过抽气装置对每个密封腔体进行单独控制，可以根据不同样品的大小来选择性的关闭用不到的密封腔体或增大抽风量，提高生产效率和工件质量，优化除尘的效果。

主权项

一种用于激光精密加工的工作台系统，包括设有腔体的安装台（8）和设于安装台（8）上用于覆盖腔体的具有均匀空隙的工作台板（10），其特征在于：所述安装台（8）内的腔体由至少两个独立的密封腔体（12）组成，该工作台系统还包括与每个密封腔体（12）连通的独立的气路，以及与气路连通的抽气装置（2）。