[实用新型]研磨手臂位置矫正器有效
| 申请号： | 201320776619.2 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203680059U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 赵振伟;张弢;蒋德念 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型是通过水平气泡的调节来检测和矫正研磨手臂的原点位置。本实用新型样式是凹型装置，通过凹形装置的两个触电分别接触研磨盘和platen，调节装置里内嵌的一个水平气泡，通过水平气泡的调整，检测和矫正设备的原点，这个装置我们可以简单精确地检查研磨手臂的原点位置，并且位置不准还可以方便的调节。把研磨手臂的位置检测和调节量化和精确化。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 手臂 位置 矫正 | ||
【主权项】：
一种研磨手臂位置矫正器，其特征在于，包括相互平行的上臂和下臂，立臂的两端分别垂直连接于所述上臂的一端和所述下臂的一端，所述上臂、所述下臂和所述立臂共同构成一凹形结构；其中，所述上臂的上表面内嵌一个水平气泡，所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的触点，且该两触点之间的连线与所述立臂的延展方向平行。
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