[实用新型]一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201320758446.1 | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN203588970U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电极组件和电源，外壳内设置有反应腔室，外壳一侧壁体上开设有气体入口，外壳与设有气体入口相对的壁体上设置有溢气口，电极组件设置于反应腔室内，电极组件为一对相互平行设置的平板电极，两个平板电极相对应的电极面上设置有绝缘板。本实用新型物料放置于绝缘板上，反应气体从气体入口进入反应腔室中，同时溢气口向外排气，反应气体在反应腔室中稳定后，电源驱动电极组件工作形成电场将反应气体电离并对物料进行表面处理，实现常压下物料表面等离子体处理；当需要更换反应气体，只需要通入其他反应气体进入反应腔室中，前一种反应气体逐渐从溢气口中排出，实现更换反应气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 常压 环境 材料 表面 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种适用于常压环境材料表面等离子体处理装置，其特征在于，包括外壳、电极组件和电源，所述外壳内设置有反应腔室，所述外壳一侧壁体上开设有气体入口，所述外壳与设有气体入口相对的壁体上设置有溢气口，所述电极组件设置于所述反应腔室内，所述电极组件为一对相互平行设置的平板电极，两个平板电极相对应的电极面上设置有绝缘板。
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