[实用新型]一种纵横交错沟槽式多气体独立通道的喷淋结构

摘要

一种纵横交错沟槽式多气体独立通道的喷淋结构，该结构针对现有技术由于设计不够合理，气体在进入腔室之前已进行接触，不易于控制沉积时间的技术问题。它包括喷淋头主体、隔板、挡板、盖板、内圈配气环盖板、外圈配气环盖板。上述主体上设有横向沟槽及纵向沟槽，横向沟槽及纵向沟槽间形成凸台，凸台上制有贯通孔，上述横向沟槽及纵向沟槽上制有半通孔。上述主体的上部设有盖板；下部腔体内设有隔板，隔板将喷淋结构整体分隔为上层空间及下层空间两个独立的空间。本实用新型属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域，具有结构合理、气体反应效果好及节约生产成本的特点。

主权项

一种纵横交错沟槽式多气体独立通道的喷淋结构，其特征在于：它包括喷淋头主体、隔板、挡板、盖板、内圈配气环盖板、外圈配气环盖板，上述主体上设有横向沟槽及纵向沟槽，横向沟槽及纵向沟槽间形成凸台，凸台上制有贯通孔，上述横向沟槽及纵向沟槽上制有半通孔，上述主体的上部设有盖板；下部腔体内设有隔板，隔板将喷淋结构整体分隔为上层空间及下层空间两个独立的空间，上述隔板上的导气柱分别与盖板上的外圈配气环盖板、内圈配气环盖板、气体B进口及气体C进口相通，上述盖板上设有气体A进口，气体A进口下设挡板，上述喷淋头主体上设有气体C出口、气体B出口及气体A出口。