[实用新型]三维相移电子散斑干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种三维相移电子散斑干涉仪，它包括仪器座和固定在该仪器座上面的仪器壳，所述仪器壳上安装有分别布置在该仪器壳上侧、下侧、左侧、右侧的四个反射镜套筒，每个反射镜套筒中均安装有一反射镜，所述仪器壳内设有：一固体绿光激光器、一分光棱镜、一压电陶瓷相移器、以及一CCD摄像头，所述CCD摄像头与计算机电连接，所述分光棱镜接收所述固体绿光激光器发出的激光束并将该激光束一分为四，由分光棱镜分出的这四束光分别射向所述的四个反射镜，并由所述反射镜反射到受检物表面。本实用新型这种干涉仪具有结构简单合理、体型轻小、携带方便的优点。

主权项

一种三维相移电子散斑干涉仪，其特征在于：它包括仪器座（1）和固定在该仪器座上面的仪器壳（2），所述仪器壳（2）上安装有分别布置在该仪器壳上侧、下侧、左侧、右侧的四个反射镜套筒（3），每个反射镜套筒（3）中均安装有一反射镜（4），所述仪器壳（2）内设有：一固体绿光激光器（5）、一分光棱镜（6）、一压电陶瓷相移器（7）、以及一CCD摄像头（8），所述CCD摄像头（8）与计算机电连接，所述分光棱镜（6）接收所述固体绿光激光器（5）发出的激光束并将该激光束一分为四，由分光棱镜（6）分出的这四束光分别射向所述的四个反射镜（4），并由所述反射镜反射到受检物表面。