[实用新型]研磨抛光头支撑装置

摘要

本实用新型涉及一种研磨抛光头支撑装置，包括抛光机机架，抛光机机架上安装立柱，立柱的上部安装机顶；特征是：在所述机顶的底面上设置凸台，凸台中间设置通孔，凸台与连接板螺接，连接板与设置在凸台中间通孔的导套螺接，导套与研磨抛光头套接。在所述立柱与机顶底面连接处的内外侧分别设置上锁紧螺母和下锁紧螺母。在所述上锁紧螺母上沿圆周方向均匀分布三个或三个以上螺纹孔，在螺纹孔中设置螺钉。本实用新型通过导套与连接板、连接板与机顶的底面凸台的紧密配合，可保证连接于导套下侧的研磨抛光头上下移动的竖直精度，达到研磨抛光头对晶片均匀施力的目的。

主权项

 一种研磨抛光头支撑装置，包括抛光机机架（1），抛光机机架（1）上安装立柱（2），立柱（2）的上部安装机顶（3）；其特征是：在所述机顶（3）的底面上设置凸台（6），凸台（6）中间设置通孔，凸台（6）与连接板（7）螺接，连接板（7）与设置在凸台（6）中间通孔的导套（8）螺接，导套（8）与研磨抛光头（9）套接。