[实用新型]电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的装置有效
申请号: | 201320530768.0 | 申请日: | 2013-08-28 |
公开(公告)号: | CN203440095U | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 谭毅;郭校亮;姜大川;安广野 | 申请(专利权)人: | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266234 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的装置,包括炉体,其特征在于炉体内上部设置带有水冷的熔化坩埚,该熔化坩埚一侧带有凹形熔化池,熔化池口至熔化坩埚的另一侧为向下倾斜的导流区域;位于熔化坩埚上方的炉体顶部通连有熔化用电子枪和熔炼用电子枪,位于熔化坩埚的熔化池一侧的炉体侧壁通连有送料机构,该送料机构的出料口位于熔化池上方;导流区域的倾泻口下方的炉体底部设置有凝固坩埚。该装置能够更加高效地去除硅中的磷杂质元素,同时,降低生产过程中的总能耗。 | ||
搜索关键词: | 电子束 连续 熔炼 制备 太阳 能级 多晶 装置 | ||
【主权项】:
一种电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的装置,包括炉体,其特征在于炉体内上部设置带有水冷的熔化坩埚,该熔化坩埚一侧带有凹形熔化池,熔化池口至熔化坩埚的另一侧为向下倾斜的导流区域;位于熔化坩埚上方的炉体顶部通连有熔化用电子枪和熔炼用电子枪,位于熔化坩埚的熔化池一侧的炉体侧壁通连有送料机构,该送料机构的出料口位于熔化池上方;导流区域的倾泻口下方的炉体底部设置有凝固坩埚。
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