[实用新型]一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块有效
| 申请号： | 201320462254.6 | 申请日： | 2013-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN203403149U | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 赖善春;杜甫;包立强;蒋新波;刘志标;周建;年志刚 | 申请（专利权）人： | 广东汉能光伏有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，包括压块主体，所述压块主体上设有安装孔，其特征在于：所述压块主体顶部设有斜坡，压块主体底部设有用于固定矩形平面靶材的阶梯。本实用新型可在现有压块的基础上加工而成，结构简单，制作方便，生产成本低，能保障靶材安装结构的稳定性，并有效防止靶材出现短路故障现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 矩形 平面 靶材防 短路 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，包括压块主体，所述压块主体上设有安装孔，其特征在于：所述压块主体顶部设有斜坡，压块主体底部设有用于固定矩形平面靶材的阶梯。
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