[实用新型]一种用于真空镀膜的磁导向装置有效
| 申请号： | 201320386800.2 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN203462125U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 闫都伦;刘梦杰;吴细标;刘达俊;王克斌;唐贵民 | 申请（专利权）人： | 深圳新南亚技术开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518029 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜的磁导向装置，包括真空箱体、磁导向装置、基片架、传动装置、磁铁，所述真空箱体为长方体，构成本实用新型整体外壳，所述基片架两端设有限位装置，一端安装磁导向装置，另一端安装传动装置，所述磁铁分别安装在真空箱体顶部与磁导向装置内部。本实用新型在在现有技术上增加磁导向装置，以限制基片架上半部分的晃动，避免了擦碰现象，无粉尘产生，进一步提高了产品质量，可有效的降低成本，提高工作效率，节省工作时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 导向 装置 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜的磁导向装置，其特征在于，包括真空箱体、磁导向装置、基片架、传动装置、磁铁，所述真空箱体为长方体，构成本新型整体外壳，所述基片架两端设有限位装置，一端安装磁导向装置，另一端安装传动装置，所述磁铁分别安装在真空箱体顶部与磁导向装置内部，所述磁铁有两排，所述两排磁铁同极相对靠近安装。
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