[实用新型]一种多晶硅炉底盘结构

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅炉底盘结构，包括底盘本体，底盘本体呈碗状结构，底盘本体内设有沿底盘本体分布的冷却液腔，底盘本体的下端外侧面上设有与冷却液腔连通的冷却液进口，底盘本体的上端外侧面设有与冷却液腔连通的冷却液出口，碗状结构的底盘本体的开口处向外延伸形成法兰连接面，底盘本体的中心设有进气孔，进气孔内连接有进气管；所述的底盘本体的内侧中心设有两端开口的支撑罩，支撑罩的侧面设有若干出气孔；底盘本体上的进气孔的正上方设有布气罩，布气罩上还均匀设有若干贯通的布气孔。因此，本实用新型具有冷却效果好的有益效果，同时，还能保证不同硅棒之间一致性好，硅棒生长质量好控制。

主权项

一种多晶硅炉底盘结构，包括底盘本体（1），其特征是，所述的底盘本体（1）呈碗状结构，底盘本体（1）内设有沿底盘本体分布的冷却液腔（2），底盘本体（1）的下端外侧面上设有与冷却液腔连通的冷却液进口（3），底盘本体（1）的上端外侧面设有与冷却液腔连通的冷却液出口（4），碗状结构的底盘本体（1）的开口处向外延伸形成法兰连接面（5），底盘本体的中心设有进气孔（6），所述的进气孔（6）内连接有进气管（7）。