[实用新型]一种多晶硅制造装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅制造装置，包括底盘、钟罩和封盖，底盘和封盖上都设有冷却液进口和冷却液出口，钟罩内沿圆周方向均匀设有若干与底盘固定的电极，电极的上端设有硅芯，硅芯的外侧套设有冷却夹套，冷却夹套包括内夹套和外夹套，内夹套和外夹套的上端连通下端隔离，内夹套的下端设有冷却液进口，外夹套的下端设有冷却液出口，外夹套的上端还设有排气口，封盖内从下到上分别设有冷却器和过滤器，封盖的顶部设有出气管。冷却液进入冷却腔后直接对硅芯周围进行冷却，从而精确的控制反应温度，减小副反应的发生，最大限度的提高多晶硅的纯度。

主权项

一种多晶硅制造装置，包括底盘（1）、钟罩（2）和封盖（3），底盘（1）和封盖（3）上都设有冷却液进口（4）和冷却液出口（5），其特征是，所述的钟罩（2）内沿圆周方向均匀设有若干与底盘固定的电极（6），电极（6）的上端设有硅芯（7），硅芯（7）的外侧套设有冷却夹套（8），冷却夹套（8）包括内夹套（81）和外夹套（82），所述的内夹套（81）和外夹套（82）的上端连通下端隔离，所述的内夹套（81）的下端设有冷却液进口，外夹套（82）的下端设有冷却液出口，外夹套的上端还设有排气口（9），封盖（3）内从下到上分别设有冷却器（10）和过滤器（11），所述的封盖（3）的顶部设有出气管（12）。