[实用新型]一种真空镀膜设备的新型门体结构有效
| 申请号： | 201320328819.1 | 申请日： | 2013-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN203333740U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 董小虹;张中弦;梁航;黄拿灿 | 申请（专利权）人： | 广东世创金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/52;C23C16/44 |
| 代理公司： | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人： | 张文雄 |
| 地址： | 510450 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜设备的新型门体结构，其特征在于，包括真空窒门体和真空室门盖，真空窒门体与真空室腔体密封连接构成密封式具有筒状结构的真空室；在真空室腔体外表面设有真空室腔体盖，通过真空室门盖和真空室腔体盖将真空室整体围合，形成真空室围蔽结构；在真空窒门体的立面上设有一个或多个观察窗，在观察窗上面安装有摄像装置；在真空室门盖的立面上，安装有显示屏，供视频监控和工艺监控使用。本实用新型使用整体外盖围蔽结构，相当于形成双层门体结构，使真空室腔体和真空室门体的立面方便布置及隐藏管线，整体外观整齐、简洁，通过观察窗，可以安装红外测温装置和摄像装置，进行实时监控和记录真空室内部的工作状况，实现自动监控的目的，并具有通用性好，使用率高、使用方便和成本较低的显著有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 新型 结构 | ||
【主权项】：
一种镀膜设备的新型门体结构，其特征在于，包括真空窒门体(4)和真空室门盖(3)，真空窒门体(4)与真空室腔体(2)密封连接构成密封式具有筒状结构的真空室；在真空室腔体(2)外表面设有真空室腔体盖(1)，通过真空室门盖(3)和真空室腔体盖(1)将真空室整体围合，形成真空室围蔽结构；在真空窒门体(4)的立面上设有一个或多个观察窗(5)，并在观察窗(5)上面安装有摄像装置(7)；在真空室门盖(3)的正面，安装有显示屏(8)，供视频监控和工艺监控使用。
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