[实用新型]一种等离子体放电装置有效
| 申请号： | 201320250951.5 | 申请日： | 2013-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN203261566U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 张波;吴正勇;陶永德;周保牛;吴小邦;朱葛俊 | 申请（专利权）人： | 常州机电职业技术学院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213164 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子体放电装置，包含电源、真空容器和设置在真空容器内壁上的支架，具有放置在所述支架上的电极组件，所述电极组件由2个侧电极和至少1个中间电极所组成，所述中间电极为导电金属，所述侧电极分别由导电层、绝缘层和屏蔽金属层叠加而成。本实用新型能够极大的提高等离子体放电装置的电源使用率和并提高真空容器的空间利用率，从而提高等离子体处理材料的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 放电 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体放电装置，包含射频电源系统（2）、真空容器（1）和设置在真空容器（1）内壁上的支架（4），其特征在于：具有放置在所述支架（4）上的电极组件（3），所述电极组件（3）由2个侧电极（31）和至少1个中间电极（32）所组成，所述中间电极（32）为导电金属，所述侧电极（31）分别由导电层（311）、绝缘层（312）和屏蔽金属层（313）叠加而成。
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