[实用新型]一种曝光机台框内部的加湿结构有效
| 申请号： | 201320220143.4 | 申请日： | 2013-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN203275873U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 袁强;刘长征 | 申请（专利权）人： | 东莞市海圣光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 44231 | 代理人： | 刘林 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市长安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于曝光机领域，具体是涉及一种曝光机台框内部的加湿结构；其特征在于：主要包括一真空泵，电池阀，给油器以及气源处理器；所述真空泵与电池阀联接，气源处理器与给油器联接，而给油器则与电池阀联接。此加湿结构在加湿设备上采用了常规使用的气源处理器中的给油器，替代了迷你空压机并将相应气路做变化，达到相同功效，进而解决了迷你空压机加湿方式价格高，耗电大以及有噪声的缺点。此结构不但简单，成本低廉，耗能小，而且无噪声，使用方便；其实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 机台 内部 加湿 结构 | ||
【主权项】：
一种曝光机台框内部的加湿结构，其特征在于：主要包括一真空泵，电池阀，给油器以及气源处理器；所述真空泵与电池阀联接，气源处理器与给油器联接，而给油器则与电池阀联接。
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