[实用新型]一种真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构有效
| 申请号： | 201320206954.9 | 申请日： | 2013-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN203530422U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;F04B39/16;B01D5/00;B01D53/26 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523820 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构，所述的抽气系统包括真空镀膜机的镀室抽气口及外接的高真空抽气管道（9），高真空抽气管道（9）中设有高真空阀（10），其特征是：所述的高真空抽气管道（9）中设有深冷井（7），深冷井（7）设在镀室抽气口至高真空抽气管道中的高真空阀（10）之间，用深冷井阀(8)与高真空抽气管道（9）隔离，低温水汽捕集器设在深冷井（7）内。本实用新型为节能的、能获得高洁净真空的、更合理的真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机抽气 系统 低温 水汽 捕集器 配置 结构 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构，所述的抽气系统包括真空镀膜机的镀室抽气口及外接的高真空抽气管道（9），高真空抽气管道（9）中设有高真空阀（10），其特征是：所述的高真空抽气管道（9）中设有深冷井（7），深冷井（7）设在镀室抽气口至高真空抽气管道中的高真空阀（10）之间，深冷井（7）用深冷井阀(8)与高真空抽气管道（9）隔离，所述的低温水汽捕集器设在深冷井（7）内。
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