[实用新型]MEMS麦克风有效
申请号: | 201320203656.4 | 申请日: | 2013-04-20 |
公开(公告)号: | CN203193895U | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 庞胜利;刘诗婧 | 申请(专利权)人: | 歌尔声学股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人: | 王秀芝 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及MEMS麦克风,包括:外壳;与外壳结合为一体的线路板,定义线路板与外壳相结合的一侧为线路板的内侧,其内侧罩设有MEMS芯片,该MEMS芯片的罩设区域内的线路板上设有至少两个第一声孔;线路板外侧对应第一声孔处设有第二声孔,第一声孔的孔径尺寸小于第二声孔的孔径尺寸;在第一声孔与第二声孔之间设有连通两者设为气流缓冲腔;使用时,气流通过第二声孔进入,然后经气流缓冲腔进行缓冲,通过第一声孔作用在MEMS芯片的膜片上,完成声电的转换,设有气流缓冲腔可以对较强气流进行缓冲,避免直接冲击MEMS芯片的膜片,起到了保护作用,有效的降低了MEMS芯片的损坏率,延长了MEMS麦克风的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | mems 麦克风 | ||
【主权项】:
MEMS麦克风,所述MEMS麦克风包括:外壳;与所述外壳结合为一体的线路板,定义所述线路板与所述外壳相结合的一侧为所述线路板的内侧,所述线路板的内侧罩设有MEMS芯片,其特征在于,在所述线路板的内侧上所述MEMS芯片的罩设区域内设有至少两个第一声孔;在所述线路板的外侧上对应所述第一声孔处设有第二声孔,所述第一声孔的孔径尺寸小于所述第二声孔的孔径尺寸;在所述第一声孔与所述第二声孔之间设有气流缓冲腔,所述气流缓冲腔连通所述第一声孔与所述第二声孔。
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