[实用新型]一种用于喷嘴维护中的隔热装置有效
申请号: | 201320157860.7 | 申请日: | 2013-04-01 |
公开(公告)号: | CN203174198U | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 沈建飞 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于喷嘴维护中的隔热装置,安装在气相反应器中,包括:隔热盘,边缘具有一用于所述气相反应器中的喷嘴通过、为所述喷嘴的安装或拆卸预留空间的缺口;所述隔热盘的中心设有一通孔;玻璃片,与所述隔热盘中的通孔相匹配以通过该玻璃片察看喷嘴的状态;进水连接头,设置在所述隔热盘的表面,用于连接进水管和机台进水接头;出水连接头,设置在所述隔热盘的表面,用于连接出水管和机台出水接头;所述隔热盘外缘设有用于与所述气相反应器连接固定的螺丝孔。本实用新型可以阻隔内管辐射下来的热量,避免了使站在气相反应器下面的作业人员避免高温带来的危险和伤害,本实用新型还可以随时观察气相反应器内喷嘴的状况。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 喷嘴 维护 中的 隔热 装置 | ||
【主权项】:
一种用于喷嘴维护中的隔热装置,安装在气相反应器中,其特征在于,包括:隔热盘,边缘具有一用于所述气相反应器中的喷嘴通过、为所述喷嘴的安装或拆卸预留空间的缺口;所述隔热盘的中心设有一通孔;玻璃片,与所述隔热盘中的通孔相匹配以通过该玻璃片察看喷嘴的状态;进水连接头,设置在所述隔热盘的表面,用于连接进水管和机台进水接头;出水连接头,设置在所述隔热盘的表面,用于连接出水管和机台出水接头。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
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