[实用新型]一种减少异常开腔次数的离子注入机有效
| 申请号： | 201320149336.5 | 申请日： | 2013-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN203250716U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 吕俊;许松源;孙伦郑;张虎;王艾华;赵建华 | 申请（专利权）人： | 中电电气（南京）光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 | 代理人： | 陈扬 |
| 地址： | 211100 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种减少异常开腔次数的离子注入机，包括真空部分和自动传送部分，所述真空部分包括高真空区和通过第一真空隔离阀和第二真空隔离阀设置的缓冲区，所述高真空区内设有工艺反应腔室，所述高真空区内设置有第三真空隔离阀，所述第三真空隔离阀设置在工艺反应腔室与第二真空隔离阀之间，将工艺反应腔室与第二真空隔离阀隔离；本实用新型（1）在处理故障时可以实现工艺反应腔室的缓冲区隔离；（2）缩短因缓冲区与高真空区的阀漏故障问题处理及复机的时间；（3）减少机器的损害，延长机器维护周期时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减少 异常 开腔 次数 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种减少异常开腔次数的离子注入机，包括真空部分和自动传送部分，所述真空部分包括高真空区和通过第一真空隔离阀和第二真空隔离阀设置的缓冲区，所述高真空区内设有工艺反应腔室，其特征在于，所述高真空区内设置有第三真空隔离阀，所述第三真空隔离阀设置在工艺反应腔室与第二真空隔离阀之间，将工艺反应腔室与第二真空隔离阀隔离。
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