[实用新型]真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构有效
| 申请号： | 201320142590.2 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203212633U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构，包括定位杆、锥盘和锥盘固定座，定位杆与工件架的底板固定连接，工件架顶部与真空镀膜室的上盖固定连接，锥盘通过锥盘固定座设于真空镀膜室内的底面上，定位杆位于锥盘上方。本调心定位机构是针对真空镀膜室内大型工件架的安装而提出的，通过在传统的工件架上增设定位杆及锥盘等组件，使工件架在安装后其中心得到定位，防止工件架使用时因为旋转而产生晃动，避免工件架或工件与真空镀膜室内其它机构相互碰撞的现象，使工件架结构稳定可靠，有效降低真空镀膜室的故障率；同时，工件架的稳定转动可使工件表面的膜层更均匀，有效提高工件的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 室内 大型 工件 心定 机构 | ||
【主权项】：
真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构，其特征在于，包括定位杆、锥盘和锥盘固定座，定位杆与工件架的底板固定连接，工件架顶部与真空镀膜室的上盖固定连接，锥盘通过锥盘固定座设于真空镀膜室内的底面上，定位杆位于锥盘上方。
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