[实用新型]真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构有效
申请号: | 201320142590.2 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN203212633U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 室内 大型 工件 心定 机构 | ||
1.真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,其特征在于,包括定位杆、锥盘和锥盘固定座,定位杆与工件架的底板固定连接,工件架顶部与真空镀膜室的上盖固定连接,锥盘通过锥盘固定座设于真空镀膜室内的底面上,定位杆位于锥盘上方。
2.根据权利要求1所述真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,其特征在于,所述定位杆设于工件架的底板中心,锥盘设于真空镀膜室的底面中心。
3.根据权利要求1所述真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,其特征在于,工件架安装完成后,所述定位杆的底端嵌入锥盘的中心。
4.根据权利要求1所述真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,其特征在于,所述锥盘开口向上,锥盘底部嵌于锥盘固定座上,锥盘固定座通过螺栓锁紧固定于真空镀膜室内的底面上。
5.根据权利要求1所述真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,其特征在于,所述工件架上还设有多个安装工件用的支撑杆。
6.根据权利要求1所述真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,其特征在于,所述真空镀膜室的上盖顶部设有连接车间天车吊索用的固定块。
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