[实用新型]研磨垫整理器及研磨装置有效
| 申请号： | 201320094036.1 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN203125323U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨装置及研磨垫整理器，所述研磨垫整理器用于整理研磨垫，包括整理机构、连接机构和驱动机构，驱动机构经连接机构驱动所述整理机构在研磨垫上绕研磨垫的圆心转动，整理机构包括滚筒和若干研磨晶体，若干研磨晶体设置于滚筒的外圆周面上，整理机构能够相对所述连接机构转动。通过将研磨晶体设置于滚筒上作为整理机构，相比现有的将研磨晶体设置于整理盘上的结构，可以减少研磨晶体整体和研磨垫的接触面积，从而有效防止研磨晶体脱落，避免研磨垫和晶圆被脱落的研磨晶体刮伤，从而提高产品良率。此外，由于滚动的滚筒更加容易甩掉携带的研磨残留物，故可以减少研磨残留物的堆积，从而进一步提高研磨垫的整理效果。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 整理 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫整理器，用于整理研磨垫，其特征在于，包括整理机构、连接机构和驱动机构，所述驱动机构经所述连接机构驱动所述整理机构在所述研磨垫上绕所述研磨垫的圆心转动，所述整理机构包括滚筒和若干研磨晶体，所述若干研磨晶体设置于所述滚筒的外圆周面上，所述整理机构能够相对所述连接机构转动。
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