[实用新型]一种便于维护的化学过滤器在线实时检测装置有效
申请号: | 201320021646.9 | 申请日: | 2013-01-16 |
公开(公告)号: | CN203298792U | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 李卫;李强;黄文胜 | 申请(专利权)人: | 世源科技工程有限公司 |
主分类号: | G01D21/00 | 分类号: | G01D21/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100855 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 目前化学过滤器在IC,TFT,OLED,PDP等电子厂房普遍采用。但化学过滤器的寿命目前还没合适的现场测试的办法。目前常用的检查方法是分别对化学过滤器的进风口和出风口进行化学气氛的采样,然后对采样的样本拿到实验室进行分析。如果分析的结果显示进风口和出风口的化学气氛的浓度基本上没变化了,就说明该达到了化学过滤器的使用寿命。但是,这种检测方式不能进行在线检测,并且检测成本高、周期长并且需要使用昂贵的实验分析仪器。本实用新型的目的就在于针对现有技术中的不足,提供一种检测成本低、实时性好、使用便捷、操作简单的化学过滤器寿命检测装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 便于 维护 化学 过滤器 在线 实时 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种便于维护的化学过滤器在线实时检测装置,其特征在于:该装置包括测试头、气泵和气压测试仪,其中,测试头与气压测试仪连接,所述测试头与气压测试仪之间设置有气泵。
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