[实用新型]一种PECVD辅助配件清洗机有效
| 申请号： | 201320016459.1 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN203030585U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 闫文启;齐海洋;李盼 | 申请（专利权）人： | 英利集团有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD辅助配件清洗机，包括：机架；酸洗系统，酸洗系统安装于机架上，酸洗系统包括用于盛装氢氟酸的酸槽；浸泡喷淋清洗系统，浸泡喷淋清洗系统安装于机架上，浸泡喷淋清洗系统包括清洗槽，清洗槽中安装有喷淋头。酸洗系统用于对辅助配件进行酸洗，氢氟酸与氮化硅之间具有如下反应：Si3N4+4HF+9H2O=3H2SiO3，利用氢氟酸与氮化硅之间能够反应的特性，本实用新型对辅助配件的清洁不采用物理清除的方法，能够避免辅助材料物理性能的变化。本实用新型采用氢氟酸与氮化硅进行化学反应实现对辅助配件的清洗，能够使得本实用新型对辅助配件的清洗较为彻底，并且其清洗效果较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 辅助 配件 清洗 | ||
【主权项】：
一种PECVD辅助配件清洗机，其特征在于，包括：机架；酸洗系统，所述酸洗系统安装于所述机架上，所述酸洗系统包括用于盛装氢氟酸的酸槽（1）；浸泡喷淋清洗系统，所述浸泡喷淋清洗系统安装于所述机架上，所述浸泡喷淋清洗系统包括清洗槽（2），所述清洗槽（2）中安装有喷淋头（21）。
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