[发明专利]3对棒的硅烷法制多晶硅分解炉的排布方式和连接方法

摘要

本发明公开了一种3对棒的硅烷法制多晶硅分解炉的排布方式和连接方法。分解炉包括分解炉底盘、分解炉炉体、分解炉顶盘、3对电极、进气口、出气口，中心管式冷却器及冷却水进出口，3对电极固定在底盘上单层排布，成正六边形排布。分解炉底盘和顶盘都布置了一样的24个通气口，以实现分解炉底盘进气-顶盘出气，从而达成更好的气体分布，促进该分解过程的均匀分布。在分解炉中心布置一管式换热器，通过分解炉底盘冷却水进口和分解炉顶盘冷却水出口实现对分解炉内温度的控制，降低硅棒间隙以及空余空间的温度，以减少硅烷在硅棒以外快速分解而导致的降低气相沉积速率和生成贵粉尘等不良效果，提高硅烷利用率。

主权项

一种3对棒的硅烷法制多晶硅分解炉的排布方式，其特征是在分解炉内部加入以中心圆管型冷却器，与炉底中心与顶盘中心的冷却水进出口相连，对炉内及硅棒间进行冷却。