[发明专利]一种多晶硅片制绒添加剂及其应用有效
| 申请号： | 201310707051.3 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103668467A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 章圆圆;张丽娟 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于多晶硅片铬酸制绒的制绒添加剂。本发明还提供一种用于多晶硅片铬酸制绒的制绒液，其含有铬酸和氢氟酸的混合酸溶液和上述多晶硅片制绒添加剂。本发明还提供一种多晶硅片的制绒方法，利用上述制绒液对多晶硅片进行表面制绒。该多晶硅片制绒添加剂影响制绒反应过程，控制酸腐蚀对各种晶面的反应速度，使不同晶面达到同等腐蚀速度，从而可以得到均匀性好、晶花模糊的绒面结构，有效减弱多晶晶花，同时可以降低反射率，提高电流和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 添加剂 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片制绒添加剂，其特征在于：所述添加剂的组分包括：柠檬酸钠、聚乙烯醇、水解聚马来酸酐、氟碳表面活性剂和水。
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