[发明专利]一种干燥装置有效
| 申请号： | 201310689621.0 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN103712428A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘晓伟;李梁梁;刘耀;冯玉春;郭总杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种干燥装置，涉及显示技术的制备领域，可以提高待干燥基板的干燥效率，避免由于基板干燥不充分而影响后续的工艺制程。所述干燥装置，包括腔体，以及位于所述腔体内的气刀、承载装置和抽气装置；其中，所述气刀至少包括第一气刀，且所述第一气刀沿第一方向呈锐角倾斜；所述抽气装置和所述第一气刀均位于所述承载装置的上方，且所述抽气装置设置在所述第一气刀与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀；位于所述承载装置上方的待干燥基板相对所述第一气刀，沿所述第一方向移动。用于待干燥的基板的干燥处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种干燥装置，包括腔体，其特征在于，所述干燥装置还包括位于所述腔体内的气刀、承载装置和抽气装置；其中，所述气刀至少包括第一气刀，且所述第一气刀沿第一方向呈锐角倾斜；所述抽气装置和所述第一气刀均位于所述承载装置的上方，且所述抽气装置设置在所述第一气刀与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀；位于所述承载装置上方的待干燥基板相对所述第一气刀沿所述第一方向移动。
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