[发明专利]对准成像装置有效
| 申请号： | 201310670314.8 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104698764B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 于大维;潘炼东 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对准成像装置，包括同轴照明组件，包括照明前组和图像增强组件，图像增强组件采用角锥棱镜组、菲涅尔透镜组或二元光学元件；成像组件，沿光传播方向依次包括成像前组、分光单元、成像孔径光阑、成像后组和探测器；控制器，与照明前组、图像增强组件及探测器连接；照明前组产生光束经图像增强组件调节，再经分光单元和成像前组照射到硅片上；硅片上的对准标记经成像前组、分光单元、成像孔径光阑和成像后组成像到探测器上。与现有技术相比，本发明采用角锥棱镜组、菲涅耳透镜或二元光学件与照明前组、成像前组形成柯勒同轴照明光路，实现对准成像镜头不同图像增强模式的快速、简单和方便的切换，在切换过程中无额外的能量损失。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 成像 装置 | ||
【主权项】：
一种对准成像装置，包括：成像组件、同轴照明组件和控制器；其中，所述同轴照明组件包括照明前组和图像增强组件，所述图像增强组件采用角锥棱镜组、菲涅尔透镜组或二元光学元件；成像组件沿光传播方向依次包括成像前组、分光单元、成像孔径光阑、成像后组和探测器；所述控制器分别与所述照明前组、图像增强组件以及探测器连接；所述照明前组产生照明光束经图像增强组件调节后，再经分光单元和成像前组照射到硅片表面；硅片上的对准标记经成像前组、分光单元、成像孔径光阑和成像后组，成像到探测器中，并由探测器反馈至所述控制器中。
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