[发明专利]晶圆植球的对位方法无效
| 申请号： | 201310661628.1 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN103612495A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 刘劲松;石洋;孙菊 | 申请（专利权）人： | 上海微松工业自动化有限公司 |
| 主分类号： | B41M1/12 | 分类号： | B41M1/12 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 201114 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶圆植球的对位方法，是利用一个上下视野的CCD完成晶圆与网板花形的对位，然后在既定算法中代入视教数据，通过程序运算完成偏差值计算，最后进行位置补偿。采用本发明的方法，降低了CCD的使用量，减少了晶圆对位时间，对位精度高，应用性广。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆植球 对位 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆植球的对位方法，其特征在于，该方法利用一个上下视野的CCD完成晶圆与网板花形的对位，然后在既定算法中代入视教数据，通过程序运算完成偏差值计算，最后进行位置补偿，具体包括以下主要步骤：A、将晶圆承载台移至网板下方对位位置，并降至检测高度，将CCD移至晶圆承载台与网板之间：B、将CCD移至晶圆标记点l处，进行标记点1的位置标定：C、将CCD移至晶圆标记点2处，进行标记点2的位置标定：D、将CCD移至避让点，程序计算出晶圆与网板花形间的偏差值，晶圆承载台进行位置校正后升至植球位置；E、进行晶圆植球。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微松工业自动化有限公司，未经上海微松工业自动化有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310661628.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
