[发明专利]减少模封胶体内气泡的压缩模封方法与装置在审

专利信息
申请号: 201310657972.3 申请日: 2013-12-09
公开(公告)号: CN103700596A 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 朱科奇 申请(专利权)人: 宁波市鄞州科启动漫工业技术有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 315192 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种减少模封胶体内气泡的压缩模封方法与装置,其特征在于:在一加压腔室提供压缩模模具组,其包含有上模具与配置于该上模具下方的下模具,下模具有模穴和密封环;在上模具装载基板,基板的预定封胶区朝下且对准该下模具的模穴,将基板设置与芯片通过焊线进行电性连接;加压腔室还具有加压口和排气口,模穴内填入封装材料;加热下模具,使封装材料熔融,并借加压腔室提供一高于一大气压力的气压,排出或减少封装材料内的气泡;保持加热加压并下压上模具,直到封装材料密封芯片,其接触至基板,并使封装材料预固化成模封胶体,结合于基板;模封胶体成形之后,卸载基板。本发明的有益效果是:提升了制程良率、产品可靠度与使用寿命。
搜索关键词: 减少 胶体 气泡 压缩 方法 装置
【主权项】:
一种减少模封胶体内气泡的压缩模封方法与装置,其特征在于:在一加压腔室(10)提供一压缩模模具组(20),其包含有上模具(21)与配置于该上模具(21)下方的下模具(22),下模具(22)具有一模穴(23)和密封环(24);在上模具(21)装载一基板(110),基板(110)的预定封胶区朝下且对准该下模具(22)的模穴(23),将基板(110)设置与芯片(111)通过焊线(112)进行电性连接,其芯片量为复数;    加压腔室(10)还具有一加压口(11)和一排气口(12),模穴(23)内填入封装材料(131);    加热下模具(22),使封装材料(131)熔融,并借加压腔室(10)提供一高于一大气压力的气压,排出或减少封装材料(131)内的气泡;保持加热加压并下压上模具(21),直到封装材料(131)密封芯片(111),其接触至基板(110),并使封装材料(131)预固化成形为一模封胶体(132),结合于基板(110);模封胶体(132)成形之后,卸载基板(110)。
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