[发明专利]减少模封胶体内气泡的压缩模封方法与装置在审
申请号: | 201310657972.3 | 申请日: | 2013-12-09 |
公开(公告)号: | CN103700596A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 朱科奇 | 申请(专利权)人: | 宁波市鄞州科启动漫工业技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315192 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种减少模封胶体内气泡的压缩模封方法与装置,其特征在于:在一加压腔室提供压缩模模具组,其包含有上模具与配置于该上模具下方的下模具,下模具有模穴和密封环;在上模具装载基板,基板的预定封胶区朝下且对准该下模具的模穴,将基板设置与芯片通过焊线进行电性连接;加压腔室还具有加压口和排气口,模穴内填入封装材料;加热下模具,使封装材料熔融,并借加压腔室提供一高于一大气压力的气压,排出或减少封装材料内的气泡;保持加热加压并下压上模具,直到封装材料密封芯片,其接触至基板,并使封装材料预固化成模封胶体,结合于基板;模封胶体成形之后,卸载基板。本发明的有益效果是:提升了制程良率、产品可靠度与使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 减少 胶体 气泡 压缩 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种减少模封胶体内气泡的压缩模封方法与装置,其特征在于:在一加压腔室(10)提供一压缩模模具组(20),其包含有上模具(21)与配置于该上模具(21)下方的下模具(22),下模具(22)具有一模穴(23)和密封环(24);在上模具(21)装载一基板(110),基板(110)的预定封胶区朝下且对准该下模具(22)的模穴(23),将基板(110)设置与芯片(111)通过焊线(112)进行电性连接,其芯片量为复数; 加压腔室(10)还具有一加压口(11)和一排气口(12),模穴(23)内填入封装材料(131); 加热下模具(22),使封装材料(131)熔融,并借加压腔室(10)提供一高于一大气压力的气压,排出或减少封装材料(131)内的气泡;保持加热加压并下压上模具(21),直到封装材料(131)密封芯片(111),其接触至基板(110),并使封装材料(131)预固化成形为一模封胶体(132),结合于基板(110);模封胶体(132)成形之后,卸载基板(110)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造