[发明专利]一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装有效
| 申请号： | 201310611998.4 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN103668054A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 陈艳;孟丽娜;金小锋;邹江波;闫海;郭亚北;于慧;路文一 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 褚鹏蛟 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装，包括上掩膜板（10）、下掩膜板（30）和固定夹具（40）；上掩膜板（10）包括第一框架（1）和第一薄板（3）；下掩膜板（30）包括第二框架（5）和第二薄板（8）；第二薄板（8）通过激光焊接方式固定在第二框架（5）的上表面；在第二框架（5）横向上形成吸气孔（4）；在第二框架（5）上靠近所述第二薄板（8）的外边缘的圆周方向上形成吸气槽（7），且吸气槽（7）与吸气孔（4）相通；通过所述固定夹具（40）依次将上掩膜板（10）、待加工基片（20）和下掩膜板（30）固定。本发明的掩膜工装结构简单、便于机加制作，同时能够很好地实现对电极的双面掩膜蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 微机 传感器 电极 蒸镀用 工装 | ||
【主权项】：
一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装，其特征在于，包括上掩膜板（10）、下掩膜板（30）和固定夹具（40）；所述上掩膜板（10）包括第一框架（1）和第一薄板（3）；第一薄板（3）通过激光焊接方式固定在第一框架（1）的下表面；所述第一框架（1）上形成第一锥形孔（11），第一锥形孔的上端直径比下端直径大；所述下掩膜板（30）包括第二框架（5）和第二薄板（8）；第二薄板（8）通过激光焊接方式固定在第二框架（5）的上表面；所述第二框架（5）上形成第二锥形孔（12），第二锥形孔的上端直径比下端直径小；在第二框架（5）横向上形成吸气孔（4）；在第二框架（5）上靠近所述第二薄板（8）的外边缘的圆周方向上形成吸气槽（7），且吸气槽（7）与吸气孔（4）相通；第一薄板（3）与待加工基片（20）的上表面接触；第二薄板（8）与待加工基片（20）的下表面接触；通过所述固定夹具（40）依次将上掩膜板（10）、待加工基片（20）和下掩膜板（30）固定；在第一薄板（3）和第二薄板（8）上分别形成与石英微机械传感器电极形状对应的图形；第一框架（1）、第一薄板（3）、第二框架（5）、第二薄板（8）和固定夹具（40）的材料相同。
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