[发明专利]一种无氧无偏压镀制宝石蓝色PVD膜的方法有效
| 申请号： | 201310608955.0 | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN103614695A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 薛本君 | 申请（专利权）人： | 珠海承鸥卫浴用品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 郑莹 |
| 地址： | 511400 广东省珠海市斗门*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了多弧离子镀膜机无氧无偏压镀制宝石蓝色PVD膜的方法，包括使用设备加载偏压生成基础膜和无偏压无氧化生成宝石蓝色膜层。实现了多弧离子镀膜机也能镀制出完好的宝石蓝色PVD膜，没有颜色边缘效应，且避免了一系列的设备氧化问题；提升了设备的有效利用率，实现了多弧离子镀膜机的一机多用，制作出更多色种的膜层，减少了企业对固定资产的投入。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无氧无 偏压 宝石 蓝色 pvd 方法 | ||
【主权项】：
一种无氧无偏压镀制宝石蓝色PVD膜的方法，其特征在于：包括如下步骤：1）将基材表面擦拭干净，装夹到多弧离子镀膜机的基材挂具上，并一起装入到PVD真空炉内，抽真空；2）生成基础膜层：选用金属锆作为靶材，采用多弧离子镀膜法，在脉冲偏压下，通入N2和CH4在基材表面沉积ZrCN基础膜层；3）生成蓝宝石色膜层：基材表面沉积ZrCN基础膜层后，关掉偏压电源，但继续通入N2 和CH4，反应至生成宝石蓝色PVD膜层，即可。
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