[发明专利]一种连续材料表面常压等离子体多级处理装置无效
申请号: | 201310608400.6 | 申请日: | 2013-11-27 |
公开(公告)号: | CN103602962A | 公开(公告)日: | 2014-02-26 |
发明(设计)人: | 沈文凯;王红卫 | 申请(专利权)人: | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/513 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 孟宏伟 |
地址: | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种连续材料表面常压等离子体多级处理装置,包括外壳、传动装置、沿进料方向设置的至少二个金属电极组和与所述金属电极组连接的电源,所述外壳下方开口,所述传动装置设置于所述外壳内,所述金属电极组为一对竖直设置于所述外壳内的平板电极并且所述金属电极组设置于所述传动装置之间,所述外壳壁体上开设有用于反应气体进入外壳内的气体入口。本发明中反应气体从气体入口进入外壳内,金属电极组通电形成高频电场将反应气体电离,连续材料通过传动装置沿进料方向穿过多个金属电极组之间进行表面处理,实现了连续材料无间断的表面多级处理,结构简单,成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 材料 表面 常压 等离子体 多级 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种连续材料表面常压等离子体多级处理装置,其特征在于,包括外壳、传动装置、沿进料方向设置的至少二个金属电极组和与所述金属电极组连接的电源,所述外壳下方开口,所述传动装置设置于所述外壳内,所述金属电极组为一对竖直设置于所述外壳内的平板电极并且所述金属电极组设置于所述传动装置之间,所述外壳壁体上开设有用于反应气体进入外壳内的气体入口。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的