[发明专利]电子束熔炼液态硅除氧的方法及其装置

摘要

本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼液态硅除氧的方法及其装置，本发明中打破了传统的除氧模式，首先在中频感应装置中进行待除氧硅料熔化，能够有效降低熔化所需能耗，借用导流槽进行电子束除氧熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积增大，因此电子束熔炼效果更好，由于导流区域是向下倾斜的构造，经熔炼提纯后的硅液流入凝固坩埚内，在凝固坩埚内进行堆积，一般选用较大尺寸的凝固坩埚，方便一次电子束熔炼工艺达到更大的单炉产量。本发明的优点在于提出了电子束除氧的工艺方法和用途，解决了多晶硅中杂质氧去除的难题，氧含量可以降低于0.0571ppmw以下，满足太阳能电池对多晶硅铸锭含氧量的要求。

主权项

一种电子束熔炼液态硅除氧的方法，其特征在于对电子束熔炼炉进行抽真空，在电子束熔炼炉内，通过中频感应装置对待除氧硅料进行熔化成硅液，然后利用翻转机构将中频感应装置中的硅液持续倾倒至带有水冷的导流槽内，通过电子枪对导流槽区域内的硅液进行熔炼除氧，硅液沿导流槽向下运动流到电子束熔炼炉内的凝固坩埚，当凝固坩埚达到承载量之后，停止送料机构送料，关闭电子枪，经冷却后将凝固坩埚中的硅锭取出即可。