[发明专利]Ni-Fe-W合金靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201310596436.7 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104651788A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;穆健刚;李建奎;姚伟;梁俊才;姜海;马志伟;文彬;王雷 | 申请（专利权）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C19/03;C22C1/02 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;张向琨 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种Ni-Fe-W合金靶材及其制造方法。该靶材按原子百分比由以下元素组成：Fe2-20%，W2-15%，Ni65～96%。其制造方法依次包括配料步骤，熔炼、铸锭步骤，锻造步骤，热处理步骤，轧制步骤和机加工生产成品步骤。采用本发明的制造方法得到的合金靶材具有成品成分控制精确，成分分布均匀、无偏析，无夹杂，晶粒细小均匀，成品的纯度高，密度大，磁透率高且各处均匀等优点。 | ||
| 搜索关键词： | ni fe 合金 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种Ni‑Fe‑W合金靶材，其特征在于，按原子百分比由以下元素组成：Fe2‑20%，W2‑15%，Ni65～96%。
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