[发明专利]一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201310590933.6 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN103632754A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 杨晔;王木钦;朱科;黄金华;兰品军;宋伟杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;C23C14/08;C23C14/35;C30B28/12;C30B29/16 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 发明公开了一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法，该超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜从下至上依次包括基片、AZO籽晶层和AZO主体层，AZO籽晶层厚度为5～20nm，AZO主体层厚度为100～180nm，该超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的电阻率为2.9～9.7×10-4Ω·cm，380～780nm波长范围内的平均透过率为80～90%。本发明中通过合理设置氧气与氩气的体积比为0～1，能够制备超薄的AZO籽晶层（小于20nm），且形成完美（002）择优取向的高质量AZO籽晶层。本发明通过设置与AZO主体层同质的AZO籽晶层，提高薄膜的应力减小；且能够在温度不高于200℃的条件下制备厚度不超过200nm的超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜，无需后续处理环节，节省生产能耗，降低了生产成本，提高了生产效率，适用于工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 掺杂 氧化锌 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜，其特征在于，从下至上依次包括基片、AZO籽晶层和AZO主体层，所述的AZO籽晶层厚度为5～20nm，所述的AZO主体层厚度为100～180nm，所述超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的电阻率为2.9～9.7×10‑4Ω·cm，380～780nm波长范围内的平均透过率为80～90%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310590933.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新型散热器减震机构
- 下一篇：防止液体附着于电子器件的配件
