[发明专利]激光加工设备有效
| 申请号： | 201310586004.8 | 申请日： | 2013-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN103831529B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李道炯;李忠浩;尹盛湜;朴东真 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 鲁恭诚,金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光加工设备。所述激光加工设备包括激光发生器，用于产生激光束；衍射光学元件，用于将由所述激光发生器产生的激光束分为多束子激光束；光束间距调节器，用于调节所述多束子激光束中的相邻子激光束之间的间距。因此，通过安装用于将由所述激光发生器产生的激光束分为多束子激光束的衍射光学元件和用于调节所述多束子激光束之间的间距的光束间距调节器，所述激光加工设备可在荫罩中形成各种分辨率的加工图案，同时提高所述荫罩的加工速率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种激光加工设备，包括：激光发生器，用于产生激光束；衍射光学元件(DOE)，用于将由所述激光发生器产生的激光束分为多束子激光束；光束间距调节器，用于调节所述多束子激光束中的相邻子激光束之间的间距，其中，所述多束子激光束彼此分离，其中，所述光束间距调节器包括：像变光学系统，用于仅仅沿着垂直于所述子激光束的传播方向的一个方向改变所述多束子激光束中的相邻子激光束之间的间距；变焦光学系统，用于沿着均垂直于所述子激光束的传播方向的两个不同的交叉的方向改变所述多束子激光束中的相邻子激光束之间的间距，其中，从像变光学系统出射的子光束入射到变焦光学系统。
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