[发明专利]成膜装置及真空腔室的开闭机构

摘要

本发明提供一种能够减少动作所需的能量的成膜装置及真空腔室的开闭机构。在使阀体（9）从第2位置（P2）向第3位置（P3）移动时，第1缸体（22）动作，在使阀体（9）从第3位置（P3）向第1位置（P1）移动并经阀体（9）按压密封部件（11）时，第2缸体（23）动作。第1缸体（22）具有移动阀体（9）的功能，因此需要较长的行程，但不具有按压密封部件（11）的功能，因此无需较大的缸径。另一方面，第2缸体（23）具有按压密封部件（11）的功能，因此需要较大的缸径，但不具有移动阀体（9）的功能，因此无需较长的行程。因此，能够设为无需通过与按压密封部件（11）时相等的力来移动阀体（9）亦可的结构。

主权项

一种成膜装置，其使成膜材料的粒子附着于成膜对象物，该成膜装置具备：真空腔室，具有用于搬入搬出所述成膜对象物的孔部；阀体，能够在关闭所述孔部的第1位置、和不与经所述孔部被搬入搬出的所述成膜对象物发生干涉的第2位置之间移动；密封部件，在所述阀体配置于所述第1位置时，通过被所述阀体按压来密封所述孔部；第1缸体，为了开闭所述孔部而移动所述阀体；及第2缸体，经所述阀体按压所述密封部件。