[发明专利]一种检测氨气的石英晶体微天平气体传感器的制备方法

摘要

一种检测氨气的石英晶体微天平气体传感器的制备方法，采用ZnO纳米棒作为敏感膜，其中QCM气体传感器的基底为AT切型的8MHz晶振片，步骤是：将洗净干燥的晶振片放入稀释后的溶胶中拉膜形成均匀晶种层后干燥；将硝酸锌和六次甲基四胺与去离子水混合后制得生长液；将拉膜干燥后的晶振片放入生长液中，水浴生长后用去离子水冲洗并干燥即可。本发明的优点：ZnO纳米棒修饰的QCM气体传感是物理吸附过程，可完全实现氨气的吸附解吸过程；该传感器可检测1-100×10-6浓度范围的氨气，频差范围为1-200Hz，响应时间小于10s，ZnO纳米棒晶振片的频差变化与氨气浓度呈线性关系，系数为0.9983。

主权项

一种检测氨气的石英晶体微天平气体传感器的制备方法，其特征在于：采用ZnO 纳米棒作为敏感膜，其中QCM 气体传感器的基底为AT切型的 8 MHz晶振片，步骤如下：1）将AT切型的 8 MHz晶振片用去离子水和酒精反复清洗三次，然后晶振片放入60℃烘箱中干燥30 min后待用；2）将 ZnO 溶胶与乙醇按照体积比为1：2进行稀释后，水浴加热到 60 ℃，得到稀释后的溶胶；3）将洗净干燥的晶振片放入稀释后的溶胶中拉膜 2‑3 次，形成均匀晶种层后，放入60 ℃干燥箱中干燥15 min；4）将硝酸锌和六次甲基四胺与去离子水混合后，超声溶解 15 min ，制得生长液；5）将拉膜干燥后的晶振片放入生长液中，用塑料薄膜密封，放在95 ℃水浴中生长 3 h，然后，用去离子水冲洗晶振片 3 次，60 ℃干燥12h，即可得到ZnO纳米棒修饰的QCM气体传感器。