[发明专利]薄膜蒸镀用掩膜组件及其制造方法有效
| 申请号： | 201310548317.4 | 申请日： | 2013-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103820753B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 金容焕 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 金光军,金玉兰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于薄膜蒸镀的掩膜组件包括形成开口部的框架主体；在沿第一方向受到拉伸力的状态下，两端部固定于框架主体的多个单位掩膜；设置于框架主体的端部拉伸单元。端部拉伸单元在多个单位掩膜中相邻的两个单位掩膜之间沿与第一方向垂直相交的第二方向移动而用于沿第二方向拉伸单位掩膜的端部。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 蒸镀用掩膜 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜组件，其中包括：形成开口部的框架主体；多个单位掩膜，在沿第一方向受到拉伸力的状态下，多个所述单位掩膜的两端部通过熔接而固定于所述框架主体；以及端部拉伸单元，所述端部拉伸单元设置于所述框架主体，并且在所述多个单位掩膜中相邻的两个单位掩膜之间沿与所述第一方向垂直相交的第二方向移动而用于沿所述第二方向拉伸所述单位掩膜的端部，所述框架主体形成有用于设置所述端部拉伸单元的多个凹槽，所述端部拉伸单元包括：在所述凹槽的底面上与所述第二方向平行地形成的导轨；结合于所述导轨而沿所述第二方向滑动的移动部件；结合于所述移动部件而控制所述移动部件的移动方向和移动量的移动控制部，所述移动控制部包括：设置于所述移动部件的侧壁且具备齿条的齿条结合部；具备与所述齿条啮合的小齿轮的驱动轴，所述第一方向与所述单位掩膜的长度方向一致，所述第二方向与所述单位掩膜的宽度方向一致。
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