[发明专利]一种多晶硅快速凝固方法有效
申请号: | 201310533033.8 | 申请日: | 2013-10-30 |
公开(公告)号: | CN103539126A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 姜大川;任世强;石爽;李鹏廷;谭毅 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李馨 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种多晶硅逆向凝固方法,属于多晶硅生产领域。一种多晶硅快速凝固方法,包括备料、熔炼、凝固的步骤,所述凝固步骤按下述方法进行:将置于多晶硅逆向凝固装置中硅液进行定向凝固,当剩余的硅液体积为初始体积的1%~25%时,停止凝固;使温度为0~500℃的水冷铜板与剩余的硅液接触直至剩余的硅液凝固。本发明提供的多晶硅快速凝固方法,当水冷铜板进入硅液上表面后形成强大的过冷度,保证硅液迅速凝固并且产生较大应力,容易破碎,抑制杂质的反向扩散便于后期处理。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 快速 凝固 方法 | ||
【主权项】:
一种多晶硅快速凝固方法,包括备料、熔炼、凝固的步骤,其特征在于:所述凝固步骤按下述方法进行:将置于多晶硅逆向凝固装置中硅液(500)进行定向凝固,当剩余的硅液(500)体积为初始体积的1%~25%时,停止凝固;使温度为0~500℃的水冷铜板(103)与剩余的硅液(500)接触直至剩余的硅液(500)凝固。
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