[发明专利]一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置在审
| 申请号： | 201310505175.3 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN104572742A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 张振生;徐益平;黄鲲;王鑫;施耀明 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/30 | 分类号： | G06F17/30 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 罗朋 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置，其中，方法包括：获取光学关键尺寸模型在每个波长点的不同傅里叶展开阶数对应的理论光谱数据；对在每个波长点的不同展开阶数所获取的理论光谱数据进行收敛分析，来确定该波长点的满足预定收敛条件的最优展开阶数；根据该光学关键尺寸模型在每个波长点的最优展开阶数对应的理论光谱数据，来建立或更新所述光学关键尺寸模型的理论光谱数据库。不同于现有技术对所有波长点采用同样的展开阶数进行理论光谱数据的计算，本发明既保证了测量结果的准确度，又提高了理论光谱数据库的创建速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 提高 理论 光谱 数据库 创建 速度 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法，其中，包括：‑获取光学关键尺寸模型在每个波长点的不同傅里叶展开阶数对应的光谱数据；‑对在每个波长点的不同展开阶数所获取的光谱数据进行收敛分析，来确定该波长点的满足预定收敛条件的最优展开阶数；‑根据该光学关键尺寸模型在每个波长点的最优展开阶数对应的光谱数据，来建立或更新所述光学关键尺寸模型的理论光谱数据库。
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