[发明专利]一种石墨烯的制备方法有效
申请号: | 201310492787.3 | 申请日: | 2013-10-18 |
公开(公告)号: | CN103523770A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 狄增峰;王刚;陈达;陆子同;叶林;郑晓虎;张苗;丁古巧;谢晓明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02;C23C14/48;C23C14/58;C23C14/06 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种石墨烯的制备方法,该石墨烯的制备方法至少包括步骤:首先,提供一SiC基底;接着,采用离子注入技术在所述SiC基底中注入Ge;最后,对上述形成的结构进行退火处理,注入的Ge在退火过程中会迫使所述SiC中的Si和C极易断键,断键后的Si和注入的Ge形成SiGe,断键后的C在所述SiGe表面重组形成石墨烯。本发明只需要常压或低压以及低温就能够制备出石墨烯,对制备仪器的要求较低,并且节约能源、减少成本,适用于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种石墨烯制备方法,其特征在于,所述石墨烯制备方法至少包括:1)提供一SiC基底;2)采用离子注入技术在所述SiC基底中注入Ge;3)对步骤2)形成的结构进行退火处理,注入的Ge在退火过程中会迫使所述SiC中的Si和C极易断键,断键后的Si和注入的Ge形成SiGe,断键后的C在所述SiGe表面重组形成石墨烯。
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