[发明专利]一种以回收硅片切割锯屑制备高纯α相氮化硅粉体的方法无效
| 申请号： | 201310448729.0 | 申请日： | 2013-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103553002A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 尹传强;魏秀琴;周浪 | 申请（专利权）人： | 南昌大学 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 南昌洪达专利事务所 36111 | 代理人： | 刘凌峰 |
| 地址： | 330000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种以回收硅片切割锯屑制备高纯α相氮化硅粉体的方法。其特征是硅片锯屑粉氮化得到氮化硅、然后经过粉磨、酸洗、水洗和干燥等工艺步骤得到高纯α相氮化硅粉体。所得产品纯度高，α相含量>93%，氧含量<1.5%，粉体烧结活性高。本发明的特点是在生产过程中无需添加稀释剂和催化剂，工艺简单，成本低廉，易于大规模生产，可用于实现硅片切割锯屑的高附加值利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 硅片 切割 锯屑 制备 高纯 氮化 硅粉体 方法 | ||
【主权项】：
一种以回收硅片切割锯屑制备高纯α相氮化硅粉体的方法，其特征是在保护气氛中对硅片锯屑粉进行高温氮化，采用氮气、氮氢混合气、氨气中一种或几种混合气体作为保护气氛，氩气作为氮化时的辅助气体，最高氮化温度为1250℃~1380℃，氮化过程中保温时间根据原料的用量来确定；然后使用粉磨设备对氮化产物进行粉磨，之后采用无机酸对粉磨所得氮化硅微粉酸洗，之后水洗，最后干燥得到高纯α相氮化硅粉体。
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