[发明专利]晶硅片切割液聚乙二醇的提纯方法有效
| 申请号： | 201310427321.5 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103525534A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 王杰;徐元清;辛玲;高敏杰;韩志民;张孟雷 | 申请（专利权）人： | 河南新大新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M175/00 | 分类号： | C10M175/00;C08G65/34 |
| 代理公司： | 河南科技通律师事务所 41123 | 代理人： | 张建东 |
| 地址： | 475000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶硅片切割液聚乙二醇的提纯方法，旨在解决使提纯后的晶硅片切割液聚乙二醇具有更高的纯度、更低的电导率和pH值的技术问题。包括下列步骤：将待提纯的晶硅片切割液聚乙二醇依次通过装有强酸性阳离子交换树脂的阳床树脂罐、装有强碱性阴离子交换树脂的第一阴床树脂罐、装有弱碱性阴离子交换树脂的第二阴床树脂罐、装有强酸性凝胶型离子交换树脂与强碱性凝胶型离子交换树脂混合物的混床树脂罐。采用该方法，使得提纯后的晶硅片切割液聚乙二醇的纯度更高、电导率和pH值更低、各项指标均能够更好地符合使用要求；并且具有提纯工艺简单、提纯树脂原料可循环使用、提纯效果好、工作效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 聚乙二醇 提纯 方法 | ||
【主权项】：
一种晶硅片切割液聚乙二醇的提纯方法，其特征在于，包括下列步骤：（1）将待提纯的晶硅片切割液聚乙二醇引入阳床树脂罐，去除晶硅片切割液聚乙二醇溶液中的杂质阳离子，所述阳床树脂罐的填充料为含有强酸性基团‑SO3H的强酸性阳离子交换树脂；（2）将经过步骤（1）处理所得的晶硅片切割液聚乙二醇引入第一阴床树脂罐，去除晶硅片切割液聚乙二醇溶液中的杂质阴离子，所述第一阴床树脂罐的填充料为含有强碱性基团‑NR3OH的强碱性阴离子交换树脂；（3）将经过步骤（2）处理所得的晶硅片切割液聚乙二醇引入第二阴床树脂罐，进一步去除其中的杂质阴离子，所述第二阴床树脂罐的填充料为含有弱碱性基团氨基的弱碱性阴离子交换树脂；（4）将经过步骤（3）处理所得的晶硅片切割液聚乙二醇引入混床树脂罐，进一步除去晶硅片切割液中的溶解性阴离子、阳离子杂质，所述混床树脂罐的填充料为强酸性凝胶型离子交换树脂与强碱性凝胶型离子交换树脂的混合物。
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