[发明专利]一种新型坩埚及其制造方法无效
| 申请号： | 201310409108.1 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN103469294A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 申富强 | 申请（专利权）人： | 上海骐杰碳素材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 201516 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种新型坩埚，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中，包括：上环部、中环部和下碗装部依序连接；其中，上环部为一环状中空体，由若干个弧形第一组合片平行于底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，上环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，缝隙上设置有连接机构；中环部为一环状中空体，由若干个弧形第二组合片平行于底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，中环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，缝隙上设置有连接机构；下碗装部为一弧形碗状体，包括：若干个第三组合片和一碗底部，第三组合片垂直与碗底部连接形成碗壁。本发明的坩埚性价比高、耐腐蚀能力强，可以有效对抗硅蒸汽的侵蚀，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种新型坩埚，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中的一种碳纤维复合材料的应用领域，其特征在于，所述新型坩埚包括：上环部、中环部和下碗装部，所述上环部、中环部和下碗装部依序连接；其中，所述上环部为一环状中空体，所述上环部由若干个弧形第一组合片组成，所述第一组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，所述上环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，所述缝隙上设置有连接机构；所述中环部为一环状中空体，所述中环部由若干个弧形第二组合片组成，所述第二组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，所述中环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，所述缝隙上设置有连接机构；所述下碗装部为一弧形碗状体，所述下碗装部包括：若干个第三组合片和一碗底部，所述若干个第三组合片垂直与所述碗底部连接，所述若干个第三组合片形成碗状体的碗壁。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海骐杰碳素材料有限公司，未经上海骐杰碳素材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310409108.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：掺杂氧化镓膜的制备方法及掺杂氧化镓膜
- 下一篇：一种带循环过滤装置的电镀槽
